供应链传出，台积电供应商之一的半导体材料大厂美商英特格(Entergris)除计划在台设厂外，也将开始供应EUV光罩盒给台积电南科厂与美国亚利桑那州厂。英特格去年底就宣布未来三至五年，将在台湾投资2亿美元(折合新台币近60亿)在高雄设厂，并于今年2月获得科技部审查通过设厂案。(中国台湾经济日报)