中金公司研报称，近年来国内半导体设备厂商的技术水平实现快速突破。国内头部前道设备厂商整体水平达到28nm制程，并在14nm/7nm/5nm制程实现了部分设备的突破。在国内外半导体行业扩产背景下，国内半导体前道设备厂商迎来发展机遇。