中微公司发布业绩快报，2021年营业收入为31.08亿元，同比增长36.72%；归母净利润10.11亿元，同比增长105.49%；基本每股收益1.76元。受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛利率达到44.31%。