华海清科近期接受投资者调研时称，今年的疫情确实在供应链方面给公司带来了一些影响，但是公司也是制定了一系列的有效方案进行了克服，总体来说影响不大。公司生产基地就是募投项目中的高端半导体装备产业化项目，去年完成了竣工，设计产能是100台/年，未来通过做好生产空间等方面的优化，产能还能进一步提升。预计公司研发费用的金额会维持在一个比较高的水平，不管是CMP在更先进制程方面的突破，还是减薄等高端设备的研发等，都需要大量的研发投入。