据中国基金报，10月21日，嘉实上证科创板芯片ETF、华安上证科创板芯片ETF、南方上证科创板新材料ETF、博时科创板新材料ETF、华夏中证机床ETF、国泰中证机床ETF相继发布上市交易公告书。公告书显示，6只ETF均将于下周三全份额上市交易。截至10月19日，几只ETF持股仓位依然较轻，预计上市前几日会迎来较为集中的建仓。值得一提的是，除了机构投资者，还有多位个人投资者耗资千万以上积极参与认购，成为硬科技ETF新粉。