据中国台湾经济日报，光刻机巨头阿斯麦宣布扩产EUV与DUV乃至于下世代EUV设备计划。业界预计，从客户应用来看，晶圆代工需求最强，特别是先进制程技术投资不易降低，将持续带动阿斯麦长期增长明朗。阿斯麦说明，计划将年产能增加到90台EUV和600台DUV系统(2025-2026年)，以及20台High-NA EUV系统(2027-2028年)。